В России импортозаместили американский лазер для литографии

Новосибирская компания «Оптические технологии» разработала лазерную систему для печати фотошаблонов микросхем с помощью ультрафиолетового излучения. Это первое в России подобное решение, оно заменит зарубежные лазеры Coherent с длиной волны 257 нанометров.

«Мы импортозамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры», — рассказал собеседник ТАСС.

Отечественная система — это программно-аппаратный комплекс, который включает в себя собственно сам лазер, усилитель (он увеличивает мощность лазера до 15 Вт) и специальный кристалл, необходимый для преобразования частоты лазерного света.

Предсерийный прототип уже проходит испытания на белорусском предприятии «Планар».

 Источник: ТАСС